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| No. |
設備名称 |
型式 |
| 7 |
片面研磨機 |
遊離砥粒 |
| 8 |
両面研磨機 |
固定砥粒 遊離砥粒 |
| 9 |
片面ポリシング機 |
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| 10 |
両面ポリシング機 |
|
| 11 |
高速遠心バレル機 |
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| 12 |
丸目加工機 |
|
| 13 |
ロータリー研削盤 |
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| 14 |
外周刃切断機 |
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| 15 |
端面研削盤 |
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| 16 |
円筒研削盤 |
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| 17 |
精密ダイサー |
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| No. |
設備名称 |
型式 |
| 1 |
マルチワイヤーソー |
遊離砥粒 |
| 2 |
マルチワイヤーソー |
固定砥粒 |
| 3 |
バンドソー |
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| 4 |
ブレードソー |
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| 5 |
シングルワイヤーソー |
固定砥粒 |
| 6 |
平面研削盤 |
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| No. |
設備名称 |
型式 |
| 1 |
ウェハー厚み・反り測定機 |
MX203 |
| E+H 社 |
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| 2 |
面粗度形状測定機 |
Surftest SV-600 |
| Mitutoyo |
接触式 |
| 3 |
面粗度測定機 |
|
| Mitutoyo/ 小坂研究所 |
接触式 |
| 4 |
レーザー干渉計 |
|
| Fujinon |
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| 5 |
金属顕微鏡 |
オプチフォト-200 |
| Nikon |
倍率：1000 倍 |
| 6 |
コンフォーカル顕微鏡 |
MX61-CF |
| オリンパス |
コンフォーカルタイプ |
| 7 |
非接触厚み測定器 |
繰り返し精度 |
| KEYENCE |
0.1μ |
| 8 |
非接触低効率/ シート抵抗測定器 |
Model NC-10 |
| ナプソン社 |
|
| 9 |
非接触Ｐ／Ｎ判定器 |
Model PN-50α |
| ナプソン社 |
|
| 10 |
投影機 |
V-12B |
| Nikon |
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| 11 |
投影機 |
PJ-A3000 |
| Mitutoyo |
|
| 12 |
レーザー顕微鏡 3D |
|
| キーエンス |
|
| 13 |
面粗度計 |
|
| ミツトヨ |
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| 14 |
投影機 |
V-12B |
| Nikon |
|
| 15 |
投影機 |
PJ-A3000 |
| Mitutoyo |
|
| 16 |
レーザー顕微鏡 3D |
|
| キーエンス |
|
| 17 |
面粗度計 |
|
| ミツトヨ |
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| 18 |
走査電子顕微鏡 |
S-3000N |
| 株式会社 日立ハイテクノロジー |
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| 19 |
真空蒸留再生装置 |
Model NC-10 |
| 20 |
ウエハ用平面度測定機 |
FM-200 |
| トロペル社 |
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