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2011年01月 のエントリー

スライシング技術

私たちは単結晶、多結晶のシリコンウェハーを2種類の切断方法、固定砥粒方式(ダイヤモンドワイヤー)、遊離砥粒方式(ノーマルワイヤー)で製造しています。
保有設備は固定砥粒用に12台、遊離砥粒用に13台の計25台を有し、今後近い将来には更なる顧客の数量アップのニーズにも対応出来るよう、固定砥粒用に更なる増設を予定しております。
最近では固定砥粒方式も新技術として世界中で知られてきております。
近い将来、この新方式は、シリコンウェハー製造に更に必要とされると予測されます。
ですから、私たちは顧客のニーズにいつでも対応出来るよう、昨年11月より改善に取り組んでおります。
現在では固定砥粒方式での歩留りは、量産ベースで95%以上の達成に成功し、240万枚/月のシリコンウェハーが製造されております。今後ますます需要は増える見込みで、引き続き品質、数量共に更なる向上を目指して参ります。

自動検査装置 固定砥粒用ワイヤーソー
■自動検査装置
■固定砥粒用ワイヤーソー

【切断】固定切断の量産化に成功!!

固定切断の量産化に成功!!

2009年11月よりスタートした固定砥粒(ダイヤモンドワイヤー)による切断での歩留りが125角で95%、156角で94%達成!!
現状では240万枚/月のウェハーが製造されています。

固定切断とは(ダイヤモンドワイヤー)??

ダイヤモンドワイヤー
ダイヤモンドワイヤー
固定切断とは遊離砥粒方式でも使用されるピアノ線にダイヤモンド砥粒を固定させて切断する方式です。従来の遊離砥粒方式(スラリー(SiC砥粒)をかけながら切断する方式)とは異なりワイヤーにダメージを与えずシリコンを切断できるのも固定砥流の一つの特徴です。
それでは、固定砥粒方式のメリットとは何なのでしょうか?
下記が一般的に固定流のメリットとして挙げられる物です。
遊離砥粒方式と比べてみましょう。

①カーフロスの削減による材料費の削減
→遊離砥粒方式と比べ1枚当たりの材料費は約8%低減

②加工時間の短縮
→遊離砥粒方式と比べ67%短縮(約1/3)することにより生産性を大幅に向上

③産業廃棄物の削減
→従来は切断時の研削液にSiとSiC(スラリー)が混ざってしまい分離が困難であった為、産業廃棄物として処理業者へ有料で引き取ってもらっていましたが、固定砥粒方式では研削液にSiしか入っておらず、回収が容易であり、回収したSi切粉は業者へ有価で引渡しており、結果として産業廃棄物の削減に貢献しています
④面精度の向上
→厚みバラつき(インゴット内及びウェハー内)を50%低減、また面粗さは30%低減