| No. |
設備名称 |
型式 |
設備台数 |
備考 |
| 1 |
片面研磨機 |
48インチ |
1台 |
|
| 2 |
片面研磨機 |
32インチ |
15台 |
|
| 3 |
片面研磨機 |
24インチ |
16台 |
|
| 4 |
片面研磨機 |
18インチ |
1台 |
|
| 5 |
片面研磨機 |
15インチ |
12台 |
|
| 6 |
両面ポリシング機 |
18B |
1台 |
|
| 7 |
両面研磨機 |
18B |
2台 |
|
| 8 |
両面研磨機 |
17B |
1台 |
|
| 9 |
両面ポリシング機 |
16B |
1台 |
|
| 10 |
両面研磨機 |
16B |
1台 |
|
| 11 |
両面ポリシング機 |
12B |
2台 |
|
| 12 |
両面ポリシング機 |
9B |
13台 |
|
| 13 |
両面研磨機 |
9B |
14台 |
|
| 14 |
両面研磨機 |
5B |
14台 |
|
| 15 |
両面研磨機 |
4B |
3台 |
|
| 16 |
マルチワイヤーソー |
|
20台 |
ソーラー用 |
| 17 |
マルチワイヤーソー |
|
6台 |
|
| 18 |
バンドソー |
|
1台 |
|
| 19 |
ブレードソー |
|
6台 |
|
| 20 |
平面研削盤 |
|
1台 |
|
| 21 |
縦軸平面研削盤 |
|
1台 |
|
| 22 |
高速遠心バレル機 |
|
3台 |
|
| 23 |
丸目加工機 |
|
1台 |
|
| 24 |
ロータリー研削盤 |
|
5台 |
|
| 25 |
外周刃切断機 |
|
5台 |
|
| 26 |
端面研削盤 |
|
3台 |
|
| 27 |
外形加工機 |
|
1台 |
|
| 28 |
円筒研削盤 |
|
1台 |
|
| 29 |
精密ダイサー |
|
1台 |
|
| No. |
設備名称 |
型式 |
設備台数 |
備考 |
| 1 |
ウェハー厚み・反り測定機 |
MX203 |
1台 |
|
| E+H社 |
|
| 2 |
高精度面粗度測定機 |
Nanostep2 |
1台 |
|
| Taylor-Hobson社 |
接触式 |
| 3 |
面粗度形状測定機 |
Surftest SV-600 |
1台 |
|
| Mitutoyo |
接触式 |
| 4 |
面粗度測定機 |
|
7台 |
|
| Mitutoyo/小坂研究所 |
接触式 |
| 5 |
レーザー干渉計 |
GPI-XP |
1台 |
|
| ZYGO |
|
| 6 |
レーザー干渉計 |
|
2台 |
|
| Fujinon |
|
| 7 |
金属顕微鏡 |
オプチフォト-200 |
2台 |
|
| Nikon |
倍率：1000倍 |
| 8 |
コンフォーカル顕微鏡 |
MX61-CF |
2台 |
|
| オリンパス |
コンフォーカルタイプ |
| 9 |
非接触厚み測定器 |
繰り返し精度 |
2台 |
|
| KEYENCE |
0.1μ |
| 10 |
非接触低効率/シート抵抗測定器 |
Model NC-10 |
2台 |
|
| ナプソン社 |
| 11 |
非接触Ｐ／Ｎ判定器 |
Model PN-50α |
1台 |
|
| ナプソン社 |
|
| 12 |
投影機 |
V-12B |
1台 |
|
| Nikon |
|
| 13 |
投影機 |
PJ-A3000 |
1台 |
|
| Mitutoyo |
|
| No. |
設備名称 |
型式 |
設備台数 |
備考 |
| 1 |
真空蒸留再生装置 |
|
2台 |
|
| 2 |
発泡ポリウレタン包装システム |
インスタパック900 |
1台 |
|
